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SMU210 LCD检查显微镜
- 产品特点
性能特点
用途
SMU210系列为最新型FPD检查显微镜，专为LCD行业/ TFT玻璃/ COG导电粒子压痕、粒子爆破检查 SMU210系列机型采用4寸、6寸平台设计，可适用于相应尺寸的晶圆或小尺寸样品的金相检查特点 SMU210系列，其微分干涉效果可与进口品牌相媲美 SMU210系列机型采用全新设计的长工作距物镜、半复消色差技术，多层宽带镀膜技术，采用长寿命LED光源多种高度功能化的附件，能满足各种检验需要，可用于明场、简易偏光、微分干涉观察
技术参数
配 置 | 参 数 | |||
型 号 | WX40 | WX40（透反） | ||
光学系统 | 无限远色差校正光学系统 | |||
观察方法 | 明场/斜照明/偏振光/DIC | 明场/斜照明/偏振光/DIC/透射光 | ||
观 察 筒 | 30°铰链式三目，分光比，双目：三目=100：0或50：50 | |||
目 镜 | PL10X/22平场高眼点目镜 | |||
转 换 器 | 5孔内倾式转换器，带DIC插槽 | |||
物 镜 | 无限远长工作距明场金相物镜5X LMPL5X /0.13 WD10.8mm | |||
无限远长工作距明场金相物镜10X LMPL10X /0.25 WD10mm | ||||
无限远长工作距明场金相物镜20X LMPL20X /0.4 WD4mm | ||||
无限远长工作距明场半复消金相物镜50X LMPLFL50X /0.6 WD7.9mm | ||||
无限远长工作距明场半复消金相物镜100X LMPLFL100X /0.80 WD2.1mm （选配） | ||||
调焦机构 | 粗微调同轴、粗调行程33mm，微调精度0.001，带粗调机构上限位及松紧调节装置。内置90-240V宽电压变压器，单路电源输出 | |||
载 物 台 | 4英寸机械移动平台,低手们粗微同轴调节,平台面积230X215mm,移动范围：105X105mm,含金属载物台板，右手位X、Y移动手轮，配平台接口 | 4英寸机械移动平台,低手们粗微同轴调节,平台面积230X215mm,移动范围：105X105mm,含玻璃载物台板，右手位X、Y移动手轮，配平台接口 | ||
显微镜镜体 | 粗微调同轴、粗调行程33mm，微调精度0.001mm,，带粗调机构上限位及松紧调节装置。内置90-240V宽电压变压器，单路电源输出 | 粗微调同轴、粗调行程33mm，微调精度0.001mm,，带粗调机构上限位及松紧调节装置。内置90-240V宽电压变压器，双路电源输出 | ||
反射照明系统 | 带可变视场光阑与孔径光阑，均可调中心；带滤色片插槽与偏光装置插槽；带斜照明切换拉杆。单颗大功率5W LED，白色，光强连续可调 | |||
偏光附件 | 检偏镜可360度旋转，起偏镜和检偏镜均可移出光路 | |||
CTV接口 | 1X（标配）、1/2X（选配） | |||
透射照明系统 | / | 单颗大功率5W LED，白色，光强连续可调。N..A.0.5聚光镜，带可变孔径光阑 | ||
